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.分子或离子的自由运动距离越长，该区域的气体在电磁振动的搅动下产生的等离子体就越多。高能冲击作为活性等离子体在真空瞬时高温条件下物理冲击并与孔壁中挖掘出的污染物、残留的粘合剂、油污和其他污染物发生化学反应，使物体表面材料变成部分蒸发的颗粒或气态物质或被真空破坏并被真空排出，以达到清洁的目的。

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